プラズマCVD-GNR
グラフェンナノリボン用のプラズマCVD合成装置
プラズマCVD-CNT
カーボンナノチューブ用のプラズマCVD合成装置
熱CVD
原子層物質（MoS2, WS2）の直接合成装置。
SEM
走査型電子顕微鏡
紫外可視近赤外分光光度計
固体や液体試料の吸収・透過スペクトルを幅広い波長範囲で計測する装置
蛍光-励起分光高度計
励起光を変化させながら、固体や液体試料からの蛍光スペクトルを計測する装置
ラマン分光分析器
固体試料からのラマンスペクトルを計測する装置（励起レーザー：532nm, 606nm)
スパッタリング装置
スパッタリングにより薄膜を堆積させる装置
原子層転写装置
原子層同士を積層させるための転写装置
極低温４端子プローバー
室温から極低温(～10K)の範囲で、デバイスの電気伝導特性を評価する装置
イエローブース
デバイス作製を行うイエローブース
マスクレスフォトリソ装置
マスクレスで自在にパターン形成を行うフォトリソグラフィ装置
太陽光発電特性評価装置
疑似太陽光(AM1.5G)を照射して、太陽電池の発電特性を正確に評価する装置
抵抗加熱真空蒸着装置
抵抗加熱の蒸着により薄膜を形成する装置
AFM
原子間力顕微鏡
